18917639396

article

技術(shù)文章

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章碳化SiC晶體生長(zhǎng)過程的德國IMPAC紅外測(cè)溫儀應(yīng)用

碳化SiC晶體生長(zhǎng)過程的德國IMPAC紅外測(cè)溫儀應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-10-16點(diǎn)擊次數(shù):887


 在高溫區(qū)(2000℃)將碳化硅SiC粉末升華,將碳化硅SiC氣體沿著溫度梯度輸送,在較冷的尾部碳化硅SiC籽品凝聚為晶體。

 

目前國際主流大規(guī)模應(yīng)用的晶體生長(zhǎng)方法,具有技術(shù)方案成熟、生長(zhǎng)過程簡(jiǎn)單、設(shè)備成本低等特點(diǎn)。技術(shù)難點(diǎn)主要為大尺寸襯底制備、缺陷水平控制及良率提升。

 

加熱模式

SiC PVT長(zhǎng)晶爐有電感加熱和電阻加熱加熱兩種加熱模式。

 

測(cè)溫方式

 

溫度一般需要控制2400℃上下,由于生產(chǎn)過程不可見,為保證晶體生長(zhǎng)品質(zhì)需要精確調(diào)控生長(zhǎng)溫度,有上測(cè)溫、下測(cè)溫、或上下測(cè)溫等多種形式,高溫計(jì)通過石英窗口、保溫層通孔測(cè)試坩堝底部或頂部的溫度。

 

SiC長(zhǎng)晶工藝溫度監(jiān)測(cè)方案

 

由于設(shè)備結(jié)構(gòu)限制,推薦使用帶有視頻瞄準(zhǔn)的高溫計(jì);可以選用以下型號(hào):

 

推薦一:

IMPAC  ISR 6     1000~3000  ,雙色,高溫,小光斑

 image.png

 


推薦二:

IMPAC  IGAR 6  Smart  ,100~2550℃ ,雙色,寬量程,低高溫兼顧

 image.png


推薦三:

 

IMPAC  IGA 6   ,250~2550℃   ,單色,寬量程,低高溫兼顧

image.png

image.png

服務(wù)熱線
18917639396

掃碼加微信

亚洲国产美女精品久久久久∴| 色99久久久久高潮综合影院| 久久er99热精品一区二区| 99999久久久久久亚洲| 婷婷综合久久狠狠色99h| 久久综合给合综合久久| 亚洲色婷婷综合久久| 国产成人AV综合久久| 日韩精品久久久久久久电影蜜臀| 久久精品国产免费一区| 狠狠色婷婷久久一区二区| 国产一区二区精品久久岳| 久久影院综合精品| 久久综合亚洲鲁鲁五月天| 国内精品久久久久久久coent| 久久婷婷五月综合97色| 国内精品久久久久影院亚洲| 91精品国产高清久久久久久91| 99久久99久久精品国产片果冻| 日本久久中文字幕| 精品久久久久一区二区三区 | 亚洲国产精品狼友中文久久久| 国产精品久久久久久吹潮| 伊人久久综合成人网| 无码人妻久久一区二区三区蜜桃| 国产午夜福利精品久久| 亚洲午夜久久影院| 久久免费美女视频| 久久综合综合久久狠狠狠97色88| 久久精品国产亚洲AV无码偷窥 | 国产精品久久久久久福利69堂| 久久SE精品一区二区| 精品一二三区久久aaa片| 国产激情久久久久久熟女老人| 久久大香萑太香蕉av| 久久99精品久久久大学生| 亚洲AV日韩精品久久久久久久| 日韩AV无码久久一区二区| 99久久免费国产精品热| 99久久精品国产一区二区蜜芽| 久久精品无码av|